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品牌:MKS
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控制和显示任何流量传感器
兼容型号 358、558、1150、1359、1559、1179、1479
使用前面板或模拟接口调节流速
MKS 246C规格
展示
3 1/2 位 0.56" 红色 LED,连续显示
频道
1
输入信号
1 x 0-5 VDC
气体修正系数
0.1 - 4.0(后面板)
外部设定点
0-5 伏直流
外部开/关
TTL 兼容
模拟信号输出
最小负载阻抗:10 k Ohm/通道
非标度信号输出
1 x 0-5 VDC = FS 的 0-100%
缩放信号输出
0-2 VDC(最大)
行程点
不适用
电源输出
±15 VDC,0.5 安培,最大值 纹波 < 10 mV
电源要求
117/234 伏交流电 ±15%,50-60 赫兹
用于
质量流量控制器 179、180、579、1179、1479、1480、1559、1579、2179、M10M、M100
工作温度
15°C 至 40°C
接口连接器引脚
别针 | 描述 |
---|---|
1 | 模拟返回 |
2 | 0 至 1 VDC(标称)修正流量输出 |
3 | 模拟返回 |
4 | 远程开/关 |
5 | 无连接 |
6 | 0 至 5 VDC MFC 输出 |
7 | 设定点输入 |
8 | 数字地面 |
9 | 底盘通用 |
质量流量控制器连接器引脚
别针 | 描述 |
---|---|
1 | 无连接 |
2 | 流量输入信号 |
3 | 无连接 |
4 | 无连接 |
5 | 电源地 |
6 | -15 VDC(由 246 提供) |
7 | +15 VDC(由 246 提供) |
8 | 设定点输出信号 |
9 | 无连接 |
10 | 0 至 5 VDC 流量输出 |
11 | 无连接 |
12 | 模拟返回 |
13 | 无连接 |
14 | 无连接 |
15 | 底盘通用 |