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品牌：MKS
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绝对压力测量范围从 1,000 到 10 SITIon: relative; vertical-align: baseline; top: -0.5em;">-5 Torr
单个传感器中的 3 传感器功能可实现广泛的测量范围
模拟、RS232、RS485 和 EtherCAT® 版本
可选的集成触摸屏显示器可用于本地压力指示
快速、准确和可重复的压力测量减少了过程周期时间
三个可选设定点，响应时间快，可实现可靠的过程控制
901P规格
绝对测量范围
1.0 x 10 -5至 1500 托
差分测量范围
-760 至 +760 托
数字通讯
RS485/RS232（4800 至 230400 波特）
传感器
MicroPirani™（MEMS 热导率）
压电微分（MEMS 振膜）继电器
3 个继电器 SPDT（可选）
设定点范围
绝对值：5.0 x 10 -4至 1000 Torr：差值：-760 至 +100 Torr
校准气体
空气、氩气、氦气、氮气、H2、H2O 蒸汽、CO2、氙气、氖气
工作温度
0° 至 40°C（32° 至 104°F）
最高烘烤温度
85°C (185°F)，非工作
数字控制
调零、量程调整、模拟输出、压力单位、波特率、地址、出厂默认值、设定点功能：值、滞后、方向、启用、传感器状态、开关、LED 测试
数字状态
绝压和压差读数、单位、设定点、工作时间、传感器温度、用户标签、型号、设备类型、序列号、固件和硬件版本、部件号、制造商
模拟输出
绝对压力：1 至 9 VDC，1 VDC/decade，100Ω 最大输出阻抗（16 位）
可选模拟输出 2
压电差分：5 VDC = 0 Torr，1 VDC/decade（12 位）
继电器触点额定值
1 A @ 3 0VAC/DC，电阻
继电器响应
最大 100 毫秒
电源要求
RS232/RS485：9 到 30 VDC，最大 < 1.2 瓦
EtherCAT：9 到 30 VDC，最大 < 2 瓦微皮拉尼精度
5 x 10-4 to 1 x 10-3 Torr ±10% of reading
1 x 10-3 to 100 Torr ±5% of reading
100 Torr to Atm ±25% of reading微皮拉尼重复性
1 x 10-3 至 100 Torr ±2% 读数
压电差分精度
-10 至 +10 Torr ±10% 读数
-100 至 -10 Torr ±8% 读数
-760 至 -100 Torr ±1% 读数
+10 至 100 Torr ±5% 读数压电差分重复性
-760 至 +10 Torr ±1% 读数
压电微分零稳定性
满量程的 ±0.1%（满量程 = 760 Torr）
超压限制
1500 托（绝对值）
内部容积
(KF16) 2.8 毫升
外露材料
硅、SiO2、Si3N4、金、低释气环氧树脂、304 不锈钢、Viton®
电子外壳和法兰
304不锈钢
重量
170 克（带 KF 16 法兰）
绝压和差压测量
901P 结合了绝压和差压测量技术，以提供卓越的性能和功能。901P 提供获得专利的、独立于气体的绝对压力测量，范围为 50 -1000 Torr，其精度比热导率传感器更高。
MicroPirani™ 传感器技术
与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani™ 中的传感器元件由一平方毫米的硅芯片制成，允许在非常小的体积内进行测量。由于采用了 MicroPirani™ 技术，901P 可以读取低至 10 -5 Torr 的压力，比标准皮拉尼传感器低 20 年。传感器设计最大限度地减少了对流的影响，因此 901P 可以安装在任何方向，而不会影响精度。
压电差分传感器技术
Piezo 是一种压差传感器，可确保在不同的气压条件下正确测量气压。压电技术是直接压力读数，允许测量独立于气体。压电传感器相对于大气压的测量范围为 -760 至 +760 Torr。
模拟压力输出
901P 还具有每十进制 1VDC 的模拟压力输出，可以连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面进行选择。辅助可选模拟输出用于提供差压测量。
三个过程控制继电器
901P 具有多达三个机械继电器，可用于过程控制，例如互锁隔离阀和真空泵。每个设定点都可以分配给差分压电测量或组合绝对 MicroPirani™ - 压电测量。
紧凑的设计
这些真空传感器的紧凑设计显着减少了真空计占用的空间量。这对系统设计人员特别有吸引力，并允许更紧凑的真空系统。
可选的集成触摸屏显示器
可选的集成触摸屏显示器可由用户配置；用户可以更改压力单位、方向，并可以访问设定点参数以及气体类型。显示屏还指示可用设定点继电器的状态。在高对比度显示屏上可以在 5 米以外看到来自单个传感器的显示压力读数或组合读数。
