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离子溅射仪喷金仪图1

离子溅射仪喷金仪

2023-03-03 19:451320询价

价格:¥0.00/件

品牌:英鹏

标签: 离子溅射仪

起订:1件

供应:9999件

发货:3天内

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仪器多机尺寸:长610mmX竟420mmX言220mm(注:含腔体总高490mm)

工作腔室尺寸::金篇腔体:直径260mmX高270mm(外尺寸)

直径210mmX高270mm(内尺寸)

靶材尺寸:室径50mmX罩3Mm(图契材材质不司星度有所不司)

靶材料:标配一杂直径50mmX03mm的金起(可渡射弱磁性金属膜)

靶枪冷却方式:水冷

真空系统:抗冲击涡轮分子,抽速为300L/s

前级机械泵:抽速为4L,带防返油电磷阀及油污拉滤器

真空测量:采用复合真空计些测真空

极限真空度:5×10Pa(10分钟可到5×10Pa)

电源:官流恒流电源:

翰入克压:220W

输出电压:0-600r可话

输出电流(沉积电流):0-1.6A可调

教样台:旋装台(直径尺寸用户可选,最大不能超过中150mm)

工作气体:Ar笺管性气体(警自备气瓶及减压阀

气路:谁射喜空度手动道整

沉积速宝:0-200nm

水冷:自循环冷却水机

电源电压:220V50Hz

启动功室:3KW

保修:贰年

仪器多机尺寸:长610mmX竟420mmX言220mm(注:含腔体总高490mm)

工作腔室尺寸::金篇腔体:直径260mmX高270mm(外尺寸)

直径210mmX高270mm(内尺寸)

靶材尺寸:室径50mmX罩3mm(图契材材质不司星度有所不司)

靶材料:标配一杂直径50mmX03mm的金起(可渡射弱磁性金属膜)

靶枪冷却方式:水冷

真空系统:抗冲击涡轮分子泵,抽速为300L/s

前级机械泵:抽速为4L,带防返油电磷阀及油污拉滤器

真空测量:采用复合真空计些测真空

极限真空度:5×10Pa(10分钟可到5×10Pa)

电源:官流恒流电源:

翰入克压:220W

输出电压:0-600r可话

输出电流(沉积电流):0-1.6A可调

教样台:旋装台(直径尺寸用户可选,最大不能超过中150mm)

工作气体:Ar笺管性气体(警自备气瓶及减压阀)

气路:谁射喜空度手动道整

沉积速宝:0-200nm

水冷:自循环冷却水机

电源电压:220V50Hz

启动功室:3KW

保修:贰年



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