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品牌:英鹏
标签: 离子溅射仪
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仪器多机尺寸:长610mmX竟420mmX言220mm(注:含腔体总高490mm)
工作腔室尺寸::金篇腔体:直径260mmX高270mm(外尺寸)
直径210mmX高270mm(内尺寸)
靶材尺寸:室径50mmX罩3Mm(图契材材质不司星度有所不司)
靶材料:标配一杂直径50mmX03mm的金起(可渡射弱磁性金属膜)
靶枪冷却方式:水冷
前级机械泵:抽速为4L,带防返油电磷阀及油污拉滤器
真空测量:采用复合真空计些测真空
极限真空度:5×10Pa(10分钟可到5×10Pa)
电源:官流恒流电源:
翰入克压:220W
输出电压:0-600r可话
输出电流(沉积电流):0-1.6A可调
教样台:旋装台(直径尺寸用户可选,最大不能超过中150mm)
工作气体:Ar笺管性气体(警自备气瓶及减压阀)
气路:谁射喜空度手动道整
沉积速宝:0-200nm
水冷:自循环冷却水机
电源电压:220V50Hz
启动功室:3KW
保修:贰年
仪器多机尺寸:长610mmX竟420mmX言220mm(注:含腔体总高490mm)
工作腔室尺寸::金篇腔体:直径260mmX高270mm(外尺寸)
直径210mmX高270mm(内尺寸)
靶材尺寸:室径50mmX罩3mm(图契材材质不司星度有所不司)
靶材料:标配一杂直径50mmX03mm的金起(可渡射弱磁性金属膜)
靶枪冷却方式:水冷
真空系统:抗冲击涡轮分子泵,抽速为300L/s
前级机械泵:抽速为4L,带防返油电磷阀及油污拉滤器
真空测量:采用复合真空计些测真空
极限真空度:5×10Pa(10分钟可到5×10Pa)
电源:官流恒流电源:
翰入克压:220W
输出电压:0-600r可话
输出电流(沉积电流):0-1.6A可调
教样台:旋装台(直径尺寸用户可选,最大不能超过中150mm)
工作气体:Ar笺管性气体(警自备气瓶及减压阀)
气路:谁射喜空度手动道整
沉积速宝:0-200nm
水冷:自循环冷却水机
电源电压:220V50Hz
启动功室:3KW
保修:贰年