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品牌：英鹏
标签： 离子溅射仪
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参数：
主机规格：305mm×365mm×325mm（W×D×H）
靶（上部电极）：金：50mm×0.1mm（D×H）
靶材：Au（标配），也可根据实际情况配备银靶、铂靶等
样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）
靶材尺寸：Ф50mm
真空指示表：最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
离子电流表：最大电流：50mA
定时器：最长时间：3600s
可通入气体：多种
最高电压：-1600 DCV
输入电压：220V(可做110V),50HZ
