小型离子溅射仪喷金仪

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品牌：英鹏

标签： 离子溅射仪

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参数：

1.主机规格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）

2.靶（上部电极）：金：50mm×0.1mm（D×H）

3.靶材：Au（标配）

4.样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）

5.靶材尺寸：Ф50mm

6.真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar

7.离子电流表： 最大电流：50mA

8.定时器：最长时间：1-360s

9.微型真空气阀：可连接φ3Mm软管

10.可通入气体： 多种

11.最高电压： -2800 DCV

12.机械泵：标准配置2L/S（国产VRD-8）