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品牌：英鹏
标签： 离子溅射仪
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参数：
仪器尺寸：主机300mm×360mm×380mm（W×D×H）
蒸镀 300mm×360mm×160mm（W×D×H）
真空样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×110mm（D×H）
靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）
溅射靶材：Au
溅射靶材大小：φ50mm
样品台：样品台尺寸可安装直径50mm和直径70mm的样品台，样品台可调节高度。也可根据自身要求定制样品台
溅射工作电压：0-1600V (DC)可调
溅射电流：0-50mA
溅射定时：0-360S
蒸碳电流0-100A(AC)
蒸发材料：碳纤维
蒸发工作电压：0-30V
可通入气体：多种
输入电压：220V(可做110V),50HZ
