离子溅射仪喷金仪

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品牌：英鹏

标签： 离子溅射仪

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参数：

主机规格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）

靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（标配）也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。

样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）

样品台尺寸：可安装直径50mm和直径70mm的样品台，也可根据自身要求定样品台

靶材尺寸：Ф50mm

真空指示表：最高真空度：≤ 4X10-2 mbar

离子电流表：最大电流：50mA

定时器：最长时间：0-360S

微型真空气阀：可连接φ3Mm软管

可通入气体：多种

最高电压：-1600 DCV

机械泵：标准配置2L/S（国产VRD-8）

输入电压：220V(可做110V),50HZ