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扫描探针显微镜OLS4500图1

扫描探针显微镜OLS4500

2023-08-17 14:292900询价

价格:¥500000.00/台

品牌:奥林巴斯

标签: 扫描,探针,显微镜

配置:HDR功能(高动态范围功能)

起订:1台

供应:100台

发货:60天内

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电动物镜转换器切换倍率和观察方法

配有涵盖了低倍观察到高倍观察的4种物镜,并在电动物镜转换器上装配了SPM单元。可以无缝切换倍率和观察方法,不会丢失观察对象。此外,该款显微镜可以进行纳米级观测。

涵盖了低倍到高倍观察,并配有多种观察方法可以迅速发现观察对象。

可以完成低倍到高倍的大范围倍率观察。不仅如此,先进光学技术打造的光学显微镜带来多种观察方法,可以容易的发现观察对象。此外,对于光学显微镜难以找到的观察对象,还可以使用激光显微镜进行观察。在激光微分干涉(DIC 
观察中,可以进行纳米级微小凹凸的实时观察。

明视场观察(IC元件)

微分干涉(DIC)观

激光微分干涉(DIC)观察

缩短从放置样品到获取影像的工作时间。

放置好样品后,所有的操作都在1台装置上完成。可以迅速,正确的把观察对象移到SPM显微镜下面,所以只要扫描1次就能获取所需的SPM影像。

一体机的机型,所以无需重新放置样品只要在1台装置上切换倍率、观察方法就能够灵活应对新样品。

OLS4500是把光学显微镜、激光显微镜、探针显微镜融于一体的一体机,所以无需重新放置样品,即可自由切换3种显微镜进行观察和评价。这3种显微镜各自持有优异的性能,所以能够高效输出*佳结果。

OLS4500实现了无缝观察和测量

【发现】可以迅速发现观察对象

 

使用光学显微镜的多种观察方法, 迅速找到观察对象

OLS4500采用了白色LED光源, 可以观察到颜色逼真的高分辨率彩色影像。它装有4种物镜, 涵盖了低倍到高倍的大范围观察。OLS4500充分发挥了光学观察的特长, 除了*常使用的明视场观察(BF)以外, 还可以使用对微小的凹凸添加明暗对比, 达到视觉立体效果的微分干涉观察(DIC), 以及用颜色表现样品偏光性的简易偏振光观察。此外, OLS4500上还配有HDR功能(高动态范围功能), 该功能使用不同的曝光时间拍摄多张影像后进行合成, 来显示亮度平衡更好、强调了纹理的影像。在OLS4500上您可以使用多种观察方法迅速找到观察对象。

BF 明视场
*常使用的观察方法。在观察中真实再现样品的 
颜色。适用于观察有明暗对比的样品。

DIC 微分干涉
对于在明视场观察中看不到的样品的微小高低差, 
添加明暗对比使之变为立体可视。适用于观察金 
相组织、硬盘和晶圆抛光表面之类镜面上的伤痕 
或异物等。

简易偏振光
照射偏振光(有着特定振动方向的光线), 使样 
品的偏光性变为肉眼可视。适用于观察金相组织、矿物、半导体材料等。

HDR 高动态范围
使用不同曝光时间拍摄多张影像并进行影像合成, 
可以观察平衡度较好的明亮部分和阴暗部分。此 
外,还可以强调纹理(表面状态),进行更精细的 
观察。

使用激光显微镜,可以观察到光学显微镜中难以观察到的样品影像

OLS4500采用了短波长405 nm的激光光源和高N.A.的专用物镜, 实现了优异的平面分辨率。能以鲜明的影像呈现出光学显微镜中无法看到的观察对象。在激光微分干涉(DIC)模式中还可以实时观察纳米级的微小凹凸。

明视场观察(玻璃板上的异物)

激光微分干涉观察

【接近】迅速发现观察对象,在SPM上正确完成观察

实现了无缝观察,不会丢失观察对象

OLS4500在电动物镜转换器上装配了涵盖低倍到高倍观察的4种物镜, 以及小型SPM单元。在光学显微镜或激光显微镜的50倍、100倍的实时观察中, 由于SPM扫描范围一直显示于视场中心, 所以把观察目标点对准该位置后, 只要切换到探针显微镜, 就能够正确接近观察对象。因此, 只需1SPM扫描就能获取目标影像, 从而能够提高工作效率并降低微悬臂的损耗。

不会在SPM观察中迷失的、可切换式向导功能

使用探针显微镜开始观察之前, 可以在向导画面上设置所需的条件, 如安装微悬臂、扫描范围等。所以经验较少的操作者也能安心完成操作。

【纳米级测量】简单操作,可以迅速获得测量结果

新开发的小型SPM测头, 减少了影像瑕疵

新开发的小型SPM测头

OLS4500采用了装在电动物镜转换器上的物镜型SPM测头。同轴、共焦配置了物镜和微悬臂前端,所以切换SPM观察时不会丢失观察目标点。不仅如此,新开发的小型SPM测头提高了刚性,所以与传统产品相比,减少了影像瑕疵并提高了可追踪性。

使用向导功能,自由放大SPM影像

使用向导功能, 可以观察时进一步放大探针显微镜拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠标指针设置放大范围并扫描, 就可以获取所需的SPM影像。可以自由设置扫描范围, 所以大幅度提高了观察和测量的效率。

向导功能在10μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范围

主机 规格

LSM部分

光源、检出系统



光源:405 nm半导体激光、检出系统:光电倍增管


总倍率



108~17,280X


变焦



光学变焦:1~8X


测量

平面测量

重复性

100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm




正确性

测量值的±2%以内



高度测量

方式

物镜转换器上下驱动方式




行程

10mm




内置比例尺

0.8nm




移动分辨率

10nm




显示分辨率

1nm




重复性

100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm




正确性

0.2+L/100 μm以下(L=测量长度)


彩色观察部分

光源、检出系统


光源:白色LED、检出系统:1/1.8英寸200万像素单片CCD



变焦


码变焦:1~8X


物镜转换器



6孔电动物镜转换器


微分干涉单元



微分干涉滑片:U-DICR、内置偏振光片单元


物镜



明视场平面半消色差透镜5X LEXT专用平面复消色差透镜20X、50X、100X


Z对焦部分行程



76 mm


XY载物台



100 x 100 mm(电动载物台)

SPM部分

运行模式



接触模式、动态模式、相位模式、电流模式*、表面电位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)*


位移检出系统



光杠杆法


光源



659 nm半导体激光


检出设备



光电检测器


*大扫描范围



X-Y:*大 30 μm x 30 μm、Z:*大 4.6 μm


安装微悬臂



在盒式微悬臂支架上一键安装。使用微悬臂安装位置调整专用工装夹具预对位,更换支架时无需光学调整。

系统

总重量



440 kg(不包含电脑桌)


I额定输入



100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60 Hz

金属薄膜

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