原标题:聚焦“满天星”计划|两江新区埃克斯工业:打造半导体智能制造“大脑”
智能制造的核心在于“智能”,要想让制造更加“聪慧过人”,拥有海量知识储备的智能制造“大脑”必不可少。
埃克斯工业大楼外景。(企业供图)
两江新区企业埃克斯工业有限公司(简称“埃克斯工业”)基于“ROPN底层建模技术+工业AI决策算法”,为众多半导体厂商提供了智能制造的“大脑”——半导体智能制造解决方案。目前,该方案已落地12寸全自动晶圆厂产线,服务了数十家国内头部企业。
埃克斯工业也入选了第五批国家级专精特新“小巨人”企业名单,吸引中芯聚源、诺华资本、华润润科微电子基金、红杉资本、达晨创投、松禾资本等明星投资机构,成为国内半导体智能制造解决方案的明星企业。
打造半导体产业智能制造“大脑”
半导体产业特别是芯片制造代表了人类工业能力的最高水平,是一门高度复杂的工艺,有上千个工艺步骤,每个步骤都必须精准控制,其生产管理要兼顾质量和效率,非常不易。
特别随着晶圆尺寸从4英寸变为6英寸、8英寸、12英寸,投资数额暴增,制造设备、流程、工艺也都变得更为复杂,良率及品控要求更为严格,自动化水平升级,智能化生产必不可少。
埃克斯工业展厅。(张霁雯/摄)
“以人体架构做类比,半导体制造设备就像我们的‘四肢躯干和骨骼’,所需材料相当于人体的‘血液’,工业软件就像是‘神经系统’,智能制造系统就算是半导体产业里的‘大脑’。”埃克斯工业CEO李杰给记者打比方,这样一来,智能制造系统这一“大脑”,通过工业软件这些“神经末梢”,让整个工厂“血液”循环代谢,调动制造设备“四肢”,从而进行生产制造。
埃克斯工业基于“ROPN底层建模技术+工业AI决策算法”,研发出智能生产计划与排程(APS)、智能实时生产调度(RTD)、先进制程控制(APC)等工具,发展出一套独家的生产控制系统,打造半导体产业智能制造“大脑”。
这个“大脑”可以自动化生成调度规则,在客户工艺研发过程中提供经验指导、数据支撑等服务,统筹管理制造生产流程,提升生产良率和效率;实现自动化的智能制造,帮助制造商快速部署系统,增强在成本、质量和生产周期上的竞争力。
正如“IKAS”代表Industrial Knowledge Automation System,用承载知识的智能制造系统帮助产业实现自动化、智能化升级,为半导体企业持续参与全球竞争打造有利武器,并逐步渗透到其它工业领域,成为中国制造业迈向“工业4.0”的有力推手。
让“老师傅”牵手数字“新搭档”
半导体智能制造是一个技术和经验结合的硬科技领域,不仅需要团队有扎实的技术积累和强大的研发能力,更需要具备丰富的行业知识和项目经验(know-how)。
埃克斯工业拥有三十余位来自于台积电、美光、格芯、德州仪器、台联电、积塔半导体等国内外领先半导体企业的“老师傅”,作为资深产业专家和顾问,与公司国际著名半导体智能制造专家团队、AI大数据软件开发团队一道,让“老师傅”牵手数字“新搭档”,将经验固化成数字化解决方案,从而飞入更多半导体工厂。
埃克斯工业办公场景。(企业供图)
以半导体设备维护为例,以往主要根据“老师傅”经验进行生产配方的人工调整,跟大厨炒菜一样,油盐酱醋比例,菜品美味程度全靠“老师傅”掌勺。
“埃克斯工业打造的APC,将以往人为凭借经验配置制程参数转为自动化调优制程参数,使设备生产效率和产品良率趋于目标值,降低人力需求和完全排除由于人工误操作造成的产品质量问题和报废,显著降低成本。”李杰介绍,该产品最终可实现良率提升5%以上,减少误差方面达到100%自动化,人工成本降低30%-50%、降低实验晶圆的数量、减少晶圆的报废。
除此之外,埃克斯工业打造了半导体设备内部调度相关产品,实现了国产替代,通过智能调度算法,提升WPH(每小时机台产生晶片数)效率,在某国产12英寸晶圆制造应用,使单台设备效率提升了20%,成为帮助半导体企业提升生产效率的利器。
“埃克斯工业的产品已实现对国内一线12英寸晶圆厂的覆盖。”李杰谈到。
踊跃担当重庆“招商小天使”
“我现在虽算不上重庆招商大使,但自己感觉也算‘招商小天使’。”李杰笑谈自己现在经常对外推介重庆以及两江新区良好的营商环境,“我见证了越来越多的先进制造业大项目,尤其是半导体产业项目落地重庆,我也经常向埃克斯工业的合作伙伴发出邀请,帮助其对接当地招商部门及资源,体验重庆对于科技创新、先进制造业的吸引能力。”
埃克斯工业与重庆结缘于首届明月湖国际创新创业大赛,获得第一名的埃克斯工业来到了重庆两江新区。
“通过半年多的实地调研,这边的营商环境完全可以与东部地区相媲美,半导体产业发展潜力巨大,为我们提供了广阔发展空间。”李杰说。
具体而言,从产业体系来讲,重庆“33618”现代制造业集群体系,半导体产业作为三大主导产业之一——新一代电子信息制造业的重要组成部分,将获得发展机遇。目前,重庆的半导体产业已形成了比较完善的产业链和产业生态圈,类似埃克斯工业这种智能制造服务配套企业会迎来新的合作和发展机遇。
在产业政策方面,重庆及两江新区产业落地政策公开透明,在国内极具竞争力,相关服务人员从招商引进到项目落地,为埃克斯工业发展提供了充足支撑。
针对人才供给,以重庆国际人才交流大会为代表,重庆组织了大量人才交流活动,同时,针对高端人才精准制定招引政策,让产业“塔尖”人才汇聚。作为网红城市,本身对年轻人极具吸引力,带来了大量“塔基”人才,为企业发展提供了丰富的人才储备。
“我觉得非常幸运,能够成为扎根重庆发展的高新技术企业和专精特新‘小巨人’企业。”李杰说,下一步,埃克斯工业将立足重庆,更好地服务成渝地区半导体产业集群,辐射全国市场,更要走向国际一线。