微型机器人的发展依赖于微加工工艺、微传感器、微驱动器和微结构四个方面。这四个方面的基础研究有三个阶段：器件开发阶段、部件开发阶段、装置和系统开发阶段。现已研制出直径20微米、长150微米的铰链连杆，200微米×200微米的滑块结构，以及微型的齿轮、曲柄、弹簧等。
微型机器人可以用在哪些方面？
1、微型机器人可以在原子级水平上工作。例如，外科医生能够遥控微型机器人做毫米级视网膜开刀手术，在眼球运动的条件下，切除弹性视网膜或个别病理细胞，接通切断的神经；在患者体内或血管中穿行，一旦发现癌细胞就立即把它们杀死以及刮去主动脉上堆积的脂肪等；可以将微型机器人胃镜放进胃内对胃进行全面检查。
2、微型机器人还可以用于精密制造业的加工，用它制造存储量更大的电脑存储芯片，以及加工精度极高的“超平面磨床”等。微型机器人的作业能力达到了分子、原子级水平，已远远超过了艺术家在头发丝上作画的程度了。
3、应用微型机器人技术，可以使各种各样的航天测量变得更为轻巧，磁带录音机之类的家用电器也会变得更加小巧和多用，电视屏幕可以做得又大又薄，其上各点的光亮度，是直接可以用微型机器人自动控制的。微型机器人也将使机械学发生一场革命。
4、微型和超微型机器人的应用领域非常广阔，它可以用于航海、农业、通信、航空航天、家庭和医疗等方面。例如：扔下成千上万个微型机器人去咀嚼轮船底部的贝类和苔藓，能节省航行能源；将成千上万个微型机器人撒在庄稼地内，让它们去咬死害虫，减少农业的损害使之有好收成；飞行微型机器人载着湿度仪和红外传感器在田野上飞翔，当发现农田有干旱现象时，便降落在灌溉系统的阀门上，将干旱信息传输给传感器，打开阀门，定量灌溉农田。
5、微型机器人可以携带摄像机和微型光纤，进人人类无法到达的地方去察环境，存储或传输图像。当地下电缆断了以后，让数万个微型机器人沿着电缆爬行，爬到断头时，便让“双手”搭在前端断头上，于是微型机器人便成为连接导线，永久留在电缆上。
6、微型机器人可以清洁、修理空间望远镜，检查宇宙飞船热屏蔽罩，给飞机机罩除冰。如果将大量的飞行微型机器人部署在其他星球上，机器人则可以发回各种所需的信息。
除了上面的功能之外，微型机器人每天晚上还可以在商店和仓库附近放哨，防止盗窃者进入，并且，微型机器人还可以在住房隐蔽处除尘，进人家用电器内部检查和维护。
